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感應加熱電源
直流電源
射頻電源
成套設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，輸出功率500~5000W。
應用領(lǐng)域：等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等。
功能特點
能耗低、體積小、使用壽命長。
控制精度高，穩(wěn)定性高。
面板可顯示和調(diào)節(jié)頻率、設(shè)定功率、正向功率、反射功率、負載功率。
具有過壓、過流、過反射、過溫等保護功能。
支持多種通訊協(xié)議。
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0379-62202805
